奧林巴斯半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡MX63

讓您的大尺寸樣品檢測(cè)流程更加順暢

奧林巴斯半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡MX63系統(tǒng)特別適合尺寸*大300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)可讓您根據(jù)需要選擇組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。

這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí)保持檢測(cè)者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結(jié)合使用情況下，可以簡(jiǎn)化從觀(guān)察到報(bào)告生成的整體工作流。

**的分析工具

OLYMPUS奧林巴斯MX63/MX63L半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡的各種觀(guān)察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶(hù)能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。**照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶(hù)評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。

從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀(guān)察與圖像采集

通過(guò)將暗場(chǎng)與諸如明場(chǎng)、熒光或偏光等其他結(jié)合使用，MIX觀(guān)察技術(shù)能夠獲得*有的觀(guān)察圖像。MIX觀(guān)察技術(shù)可讓用戶(hù)發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場(chǎng)觀(guān)察所用的環(huán)形LED照明器具有在制定時(shí)間僅使用四分之一象限的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，對(duì)于樣品表面紋理的可視化非常有用。

半導(dǎo)體晶圓上的結(jié)構(gòu)

集成電路圖形不夠清晰。		晶圓顏色不可見(jiàn)。		晶圓顏色和集成電路圖形均清晰可辨。

半導(dǎo)體晶圓上的光刻膠殘留物

	樣品本身不可見(jiàn)。		殘留物不清晰。		集成電路圖形和殘留物均清晰可辨。

聚光鏡

	表面受到反射。		來(lái)自不同角度定向暗場(chǎng)的多幅圖像。		將沒(méi)有光暈的清晰圖像拼接在一起，創(chuàng)建樣品的單幅清晰圖像。

輕松生成全景圖像: 即時(shí)圖像拼接

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶(hù)移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無(wú)需進(jìn)行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識(shí)別生成全景圖像，讓用戶(hù)獲得更寬的視場(chǎng)。

硬幣的即時(shí)MIA圖像/生成全聚焦圖像: EFI

奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能可采集高度*出物鏡焦點(diǎn)深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸調(diào)焦使用，可輕松實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版（Desktop）離線(xiàn)情況下生成EFI圖像。

集成電路芯片上的凸塊

利用HDR同時(shí)捕捉明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

采用*圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)品質(zhì)，從而有助于生成具有專(zhuān)*級(jí)外觀(guān)的報(bào)告。

	某些部位存在眩光。		暗光區(qū)域和明亮區(qū)域利用HDR獲得清晰呈現(xiàn)。		TFT陣列因?yàn)V色片的亮度而漆黑一片。		TFT陣列利用HDR獲得呈現(xiàn)。

從基本測(cè)量到g級(jí)分析

測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要。基于這一想法，即便是入門(mén)級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流的直觀(guān)界面。點(diǎn)擊按鈕一下，圖像分析任務(wù)即可快速*準(zhǔn)完成。在大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測(cè)工作上。

基本測(cè)量（印刷電路板上的圖形） 分散能力解決方案（PCB通孔的橫截面） 自動(dòng)測(cè)量解決方案（晶圓結(jié)構(gòu)）

*效的報(bào)告創(chuàng)建

創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測(cè)量還長(zhǎng)。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀(guān)的報(bào)告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專(zhuān)業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，通過(guò)電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

獨(dú)立相機(jī)選項(xiàng)

利用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)，MX63系列即可成為*的獨(dú)立系統(tǒng)。該相機(jī)采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒進(jìn)行控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測(cè)量工作的同時(shí)讓實(shí)驗(yàn)室空間得到充分利用。

相機(jī)控制盒

支持潔凈室合規(guī)性的*設(shè)計(jì)

OLYMPUS奧林巴斯MX63/MX63L半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡系列專(zhuān)為潔凈室工作而設(shè)計(jì)，并具有幫助*大限度減小樣品污染或受損風(fēng)險(xiǎn)的功能。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可幫助用戶(hù)在長(zhǎng)時(shí)間使用中保持舒適。MX63系列符合包括SEMI S2/S8、CE和UL國(guó)*規(guī)*及標(biāo)準(zhǔn)要求。

選配晶圓搬送機(jī) — AL120系統(tǒng)*

選配的晶圓搬送機(jī)可安裝在MX63系列上，實(shí)現(xiàn)無(wú)需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)上。***的性能和可靠性可實(shí)現(xiàn)安全*效的前后宏觀(guān)檢測(cè)，同時(shí)搬送機(jī)還可幫助提高實(shí)驗(yàn)室工作效率。

MX63系統(tǒng)與AL120晶圓搬送機(jī)結(jié)合使用(200毫米型號(hào))

* AL120 未在歐洲、中東、非洲地區(qū)（EMEA）銷(xiāo)售。

快速、清潔的檢測(cè)

OLYMPUS奧林巴斯MX63/MX63L半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡系列可實(shí)現(xiàn)無(wú)污染的晶圓檢測(cè)。所有電動(dòng)組件均安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全，縮短檢測(cè)間隔時(shí)間的同時(shí)，讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。

 

防靜電呼吸防護(hù)罩 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器

系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)*效觀(guān)察

利用內(nèi)置離合和XY旋鈕，XY載物臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)載物臺(tái)移動(dòng)的粗調(diào)和微調(diào)。即便針對(duì)諸如300毫米晶圓這樣的大尺寸樣品，載物臺(tái)也可幫助實(shí)現(xiàn)*效的觀(guān)察
可調(diào)傾角觀(guān)察鏡筒的調(diào)節(jié)范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。

 

帶有內(nèi)置離合的載物臺(tái)手柄 可調(diào)傾角觀(guān)察鏡筒可確保舒適的工作姿態(tài)

接受所有晶圓尺寸

晶圓支架和玻璃板

OLYMPUS奧林巴斯MX63/MX63L半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡系統(tǒng)可配合各類(lèi)150–200毫米和200– 300毫米晶圓支架和玻璃板使用。如果生產(chǎn)線(xiàn)上的晶圓尺寸發(fā)生變化，以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。有了MX63系列，各種載物臺(tái)均可用于檢測(cè)75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。

技術(shù)參數(shù)表

		MX63	MX63L
光學(xué)系統(tǒng)		UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正系統(tǒng))
顯微鏡鏡架	反射光照明	白光LED (帶有光強(qiáng)度控制器) 12伏100瓦鹵素?zé)? 100瓦汞燈 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/分光鏡組件手動(dòng)切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) 通過(guò)手動(dòng)操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件 內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌（針對(duì)所有物鏡預(yù)設(shè)，暗場(chǎng)自動(dòng)*全打開(kāi)） 觀(guān)察模式：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉相襯（DIC）*1、簡(jiǎn)易偏光 *1、熒光 *1、紅外 *1 和MIX觀(guān)察（4個(gè)定向暗場(chǎng)）*2 *1選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀(guān)察配置
	透射光照明	透射光照明裝置：需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 -  MX-TILLA：聚光鏡（NA 0.5）和孔徑光闌 -  MX-TILLB：聚光鏡（NA 0.6），孔徑光闌以及視場(chǎng)光闌 光源：LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素?zé)? 光導(dǎo): LG-SF 觀(guān)察模式: 明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光
	聚焦	行程：32毫米 每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100微米 *小分度: 1微米 用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié)
	*大載荷重量(包括載物臺(tái)和支架)	8公斤	15公斤
觀(guān)察筒	寬視場(chǎng)(FN 22毫米)	正像三目鏡筒：U-ETR4 正像、可調(diào)傾角三目鏡筒: U-TTR-2 倒像三目鏡筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀(guān)察) 倒像雙目鏡筒: U-BI30-2 倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒：U-TBI30
	超寬視場(chǎng)(FN 26.5毫米)	正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR (光程切換1*0% (目鏡) : 0 (相機(jī)) 或 0 : 1*0%) 正像可調(diào)傾角三目鏡筒: U-SWETTR (光程切換1*0% (目鏡) : 0 (相機(jī)) 或 20% : 80%) 倒像三目鏡筒: U-SWTR-3
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器		明場(chǎng) 帶DIC插槽的電動(dòng)六孔：U-D6REMC 帶DIC插槽的電動(dòng)定心五孔：U-P5REMC 明場(chǎng)和暗場(chǎng) 帶DIC插槽的電動(dòng)六孔：U-D6BDREMC 帶DIC插槽的電動(dòng)五孔：U-D5BDREMC 帶DIC插槽的電動(dòng)定心五孔：U-P5BDREMC
載物臺(tái) (X × Y)		帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC8R 行程: 210 x 210毫米 透射光照明區(qū)域：189 x 189毫米 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC6R2 行程: 158 x 158毫米 (僅適用于反射光)	帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程: 356 x 305毫米 透射光照射區(qū)域：356 x 284毫米
重量		約35.6公斤 (顯微鏡架26公斤)	約44公斤 (顯微鏡架28.5公斤)